光驰OTFC1800 真空室: SIS304, 中55018001 工件架:中14002 工件架转速: 10rpm to 30rpm (可变)。 光学膜厚控制: H0I2- -R -VIS350A2 光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100mm反射式 水晶式膜厚计: XTC/3+6 点式水晶传感器 蒸发源:双,伞个。 离子源: 23寸射频源0 排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 4 日本爱发科2401 + 12004 性能 电源: 3相200v, 50/ 60Hz,约120EVA 水流量: 180升/分以上。 重量:约10000 年份。2014/2015年。