参数如下 测量范围:X=500mm,Y=600mm,Z=400mm 空间测量示值误差:E≤2.7+L/250μm 探测误差:R≤2.7μm 分辨率:0.5μm 最大移动速度:400mm/s 最大承受重量:500kg 主机重量:900kg 供气压力:0.6-0.8MPa 主机外型尺寸:1420mm×1130mm×2310mm 出厂日期:2019年