转让二手日本光驰带涉频源介质膜/金属膜/AR膜/ AF膜光学镀膜机

二手日本光驰带涉频源介质膜/金属膜/AR膜/ AF膜光学镀膜机介绍 设备尺寸: 设备名称 OTFC-1550CBI/DBI 真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H) 工件架 φ1400mm 工件架转速 10rpm to 30rpm(可变) 光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 波长范围:350nm to 1100nm 反射式/透射式 水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器 蒸发源 电子2套 离子源 17cmRF离子源 机械性能: 排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵) 达到压力 7.0×10-5Pa 以下 排气时间 15分(大气压~1.3×10-3Pa) 基板温度 最高:350℃ 工作条件: 设备尺寸 约5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H) 电源 3相,200v,50/60Hz, 约120KVA 水流量 180升/分以上 空气压力 0.5MPa以上 重量 约10000kg