转让一台二手OTFC-1300光驰镀膜机

产品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI 原装高配OTFC-1550光驰机(年份:2015. 11 日本电子16P双枪,23 寸光驰RF离子源 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪 XTC/3+6点式水晶传感器 1.产品参数: 真空室中1550 X 1800mm(H) 工件架φ1400mm工件架转速10rpm to 30rpm (可变) 光学膜厚控制HOM2- R-VIS350A 波长范围:350nm to 1100nm 光学膜厚监控仪反射式/透射式 水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器 蒸发源电子枪2套 离子源17cmRF 离子源 机械泵:排气系统2个扩散泵Polycold(或2 个冷凝泵) 2.性能:达到压力7.0X10-5Pa以下排气时间20分 (大气压,1.3X10- 3Pa)基板温度最高:350 3.设备尺寸:约5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz, 4.电源约120KVA 水流量180 升/分以上 空气压力0. 5MPa以上 5.重量约11000kg