转让二手日本光驰1550激光保护片镀膜机/石英保护片光学电镀机

设备名称OTFC-1550CBI/DBI 真空室SUS304, φ1550mm 工件架φ 1550mm 工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变) 光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围:350nm to1100nm反射式/透射式可选 水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器 蒸发源电子枪2套 离子源10cm RF 离子源 排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵) 性能 达到压力7.0 × 10-5 Pa 以下 排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa) 基板温度最高:350℃ 工作条件 设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. 电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA 水流量180升/分以上 空气压力0.5MPa 以上